On the problem of synthesis of nano-optical elements
Authors
-
A.A. Goncharsky
Keywords:
mathematical modeling
synthesis of nano-optical elements
microrelief formation
Abstract
The paper deals with the mathematical modeling of synthesis of nano-optical elements. The accuracy of the computation and manufacturing of flat phase optical elements to form the images at optical wavelength is specified in terms of the Fresnel approximation. It is shown that the microrelief of a nano-optical element operating at optical wavelengths must be shaped to an accuracy of the order of 10 nm. Key words: mathematical modeling, synthesis of nano-optical elements, microrelief formation
Section
Section 1. Numerical methods and applications
References
- Boutry G.A. Augustin Fresnel: his time, life and work 1788-1827 // Science Progress. 1948. 36. 587-604.
- Гончарский А.А., Гончарский А.В. Компьютерная оптика. Компьютерная голография. М.: Изд-во Моск. ун-та, 2004.
- Тихонов А.Н. Об устойчивости обратных задач // Докл. АН СССР. 1943. 39, № 5. 195-198.
- Тихонов А.Н. О решении некорректно поставленных задач // Докл. АН СССР. 1963. 151, № 3. 501-504.
- Лаврентьев М.М. О некоторых некорректных задачах математической физики. Новосибирск: Сиб. отд. АН СССР, 1962.
- Иванов В.К. Приближенное решение операторных уравнений первого рода // Журн. вычисл. матем. и матем. физики. 1966. 6. 197-205.
- Bakushinsky A., Goncharsky A. Ill-posed problems: theory and applications. Dordrecht: Kluwer Academic Publishers, 1994.
- Морозов В.А. Регулярные методы решения некорректно-поставленных задач. М.: Наука, 1987.
- Vinokurov V.A. Regularizability of functions // Ill-Posed Problems in the Natural Sciences. M.: Mir, 1987. 52-70.
- Тихонов А.Н., Гончарский А.В., Степанов В.В., Ягола А.Г. Регуляризирующие алгоритмы и априорная информация. М.: Наука, 1983.
- Lesem L.B., Hirsch P.M., Jordan J.A. Jr. The kinoform: a new wavefront reconstruction device // IBM J. Res. Dev. 1969. 13, N 1. 150-155.