Data preparation, treatment and visualization for constructing holograms with the electron-beam installation ZBA-21
Keywords:
визуализация
голограммы
электронно-лучевая литография
растровый формат
векторный формат
микрорельефы
фотолитография
Abstract
A program package was developed for the design and construction of computer-generated holograms with the aid of the technology based on electron-beam lithography (the installation ZBA-21 was used). The package allows one to visualize microreliefs prepared for exposition, to transform data from the raster format to the ZBA-format, and to form data sets for exposition of holograms from individual elements. The package is used at the Research Computing Center of Moscow State University to design computer-generated holograms.
Section
Section 1. Numerical methods and applications
References
- Глазков И.М., Райхман Я.А. Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем. Минск: Наука и техника, 1981.
- Электронно-лучевая литография в изготовлении микроэлектронных приборов. М.: Радио и связь, 1984.
- Гончарский А.В., Попов В.В., Степанов В.В. Введение в компьютерную оптику. М.: Изд-во МГУ, 1991.
- Van Renesse R.L. Optical Document Security. London: Artech House, 1997.
- Михальчук В.М., Ровдо А.А, Рыжиков С.В. Микропроцессоры 80x86, Pentium. Архитектура, функционирование, программирование, оптимизация кода. Минск: Битрикс, 1994.