Data preparation, treatment and visualization for constructing holograms with the electron-beam installation ZBA-21

Authors

  • S.Yu. Serezhnikov Institute of Numerical Mathematics of RAS (INM RAS)

Keywords:

визуализация, голограммы, электронно-лучевая литография, растровый формат, векторный формат, микрорельефы, фотолитография

Abstract

A program package was developed for the design and construction of computer-generated holograms with the aid of the technology based on electron-beam lithography (the installation ZBA-21 was used). The package allows one to visualize microreliefs prepared for exposition, to transform data from the raster format to the ZBA-format, and to form data sets for exposition of holograms from individual elements. The package is used at the Research Computing Center of Moscow State University to design computer-generated holograms.

Author Biography

S.Yu. Serezhnikov

References

  1. Глазков И.М., Райхман Я.А. Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем. Минск: Наука и техника, 1981.
  2. Электронно-лучевая литография в изготовлении микроэлектронных приборов. М.: Радио и связь, 1984.
  3. Гончарский А.В., Попов В.В., Степанов В.В. Введение в компьютерную оптику. М.: Изд-во МГУ, 1991.
  4. Van Renesse R.L. Optical Document Security. London: Artech House, 1997.
  5. Михальчук В.М., Ровдо А.А, Рыжиков С.В. Микропроцессоры 80x86, Pentium. Архитектура, функционирование, программирование, оптимизация кода. Минск: Битрикс, 1994.

Published

2002-03-25

How to Cite

Сережников С.Ю. Data Preparation, Treatment and Visualization for Constructing Holograms With the Electron-Beam Installation ZBA-21 // Numerical methods and programming. 2002. 3. 110-115

Issue

Section

Section 1. Numerical methods and applications

Most read articles by the same author(s)